MODEL

QI

QI-RL

QI-50

QI-50RL

QI-100

QI-100RL

QI-200

QI-200RL

스테이지타입

고정스테이지

50*50 스테이지타입

100*100 스테이지타입

200*100 스테이지타입

시야

32*24 mm

이동
범위

XY 방향

-

50*50mm

100*100mm

200*100mm

Z 방향

25mm

100mm

화면 내의 측정 정밀도

±5um(고해상력 모드)/±8um(장초점 심도 모드)

반복정밀도(±2)

±1um(고해상력 모드)/±2um(장초점 심도 모드)

각축(XY축)의
측정정밀도(U1)

(5+0.08L)um

[L:임의의 측정길이]

초점심도

±0.6mm(고해상력 모드)/±11mm(장초점 심도모드)

조명
장치

투과

O

수직낙사

O

4분할 링 조명

-

O

-

O

-

O

-

O