MODEL항  목

VCA-50S

 VCA-50SS
(센서분리형)

 VC-30S

VC-30SS
센서분리형

 VC-10S

VC-10SS
센서분리형

제어설정범위

1∼대기압, 1.0∼199.9Torr (2Range)

1.0~대기압

분   해   능

760Range:1Torr, 200Range:0.1Tor

0.1 Tor

측정압단위

Torr

센         서

반도체 압력센서 (스트레인 게이지)

피측정압력매체

O-Ring : SUS304
경질 나이론에 대응되는
기류, 기체

비부식성 건조기체

정   확   도

760Range:0.3% FS±1dig, 200Range:0.4%FS±1dig

0.2%FS±1digit

온 도 특 성

0.03% FS/℃

0.01% FS/℃

최대부하량

1kgf/㎠

5kgf/㎠

압력설정방식

디지탈 S/W 설정 (Hi, Lo 2단계)

제 어 방 식

전자발브제어 (리크, 펌프측 2곳)

전자발브제어(펌프측제어)

사용온도범위

0∼50℃

응 답 속 도

표시기 : 400msec 기록계출력 : 2msec

기록계출력

0∼1VDC (760 Range에서 0∼1000Torr)
(200 Range에서 0∼200Torr)

0~10 VDC(1000 Tor)

센서코드길이

-

5m

-

5m

-

5m

접속부사이즈

Ø10

PF ⅛

Ø11

전          원

AC 100V ±10% 50/60㎐

Case 크기

175×220×290mm

220×290×103mm

센 서 크 기

-

Ø30×55

Ø76×100

Ø76×100

무          게

6kg

6.14kg

6kg

6.8kg

4kg

4.8kg